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離子減薄儀的原理和操作說明

點擊次數(shù):3080 更新時間:2022-08-09
離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應(yīng)用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度??梢砸暂^小的耗費將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作,低能量離子槍功能為其所配備,對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備,對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。
 
氬氣的電離采用高壓來進行,在電場是作用下,電離后的氬離子對樣品表面進行轟擊。在氬離子的持續(xù)轟擊下,樣品慢慢減薄,一直到使透射電鏡觀察要求滿足,此即為離子減薄儀的工作原理。
 
減簿及觀察:
 
1、對所需的減薄時間進行設(shè)定。
2、對工作電壓進行設(shè)定(通常設(shè)定成4或者5Kev)
3、對離子槍工作模式進行設(shè)定(通常設(shè)定成雙離子束調(diào)變)
4、對左右離子槍工作角度進行調(diào)整(通常為±4度)
5、將氬氣工作模式調(diào)整為自動氣體
6、對載臺轉(zhuǎn)速進行設(shè)定(通常是3RPM)
7、對啟動進行點擊開始工作。
8、在工作期間能夠?qū)iewing 選項進行點擊,通過CCD來對樣品減薄情況進行觀察。
9、樣品穿孔后能夠?qū)Φ碗妷哼M行更換繼續(xù)減薄,一直到薄區(qū)良好。


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